名称：温湿度控制-气液配气系统

型号：DGL-III

品牌：北京艾立特

安装时间： 2022年3月

安装位置：综合楼917室

设备简介

   主要用于为传感器的研究提供准确的气体氛围和湿度环境，同时配置有电学检测模块，能直接检测传感器在不同的气氛浓度及相对湿度下的综合性能，此外，还配置了LED光源及微型腔，为研究光激发的智能传感器提供了必备的测试条件。

仪器具有以下特点：

1）气氛浓度与湿度可以同步控制

2）支持气体气源配气的同时也支持液体气源动态配气

注：气体气源相比，液体气源存储不需要钢瓶，更加安全、经济、方便，因此除了如NOx、H2S、CO等只有气体气源的气体，多数易挥发型气体（如乙醇、丙酮、苯、氨水等）的动态配气建议直接使用液体气源。

3）全自动配气、程序化流程设定配气流程（包括湿度、气氛浓度、时间等）

4）配置传感器测试模块：可进行传感器快速检测与分析

5）配置便携式蓝牙检测模块，可支持气体浓度无线检测

6）灵活搭配多种配气腔，配置微型气室，可实现气氛浓度快速切换

7）配置LED光源及测试腔可以进行光激发测试

8）配置可拆卸式干燥器，可更换吸附剂，用于超低湿（ppm量级的水，需另行购置超低湿传感器）或吸附特定气体的测试

9）全金属密封，具有强防腐和抗溶胀功能，可使用各种强腐蚀性气体(如硫化氢和氨气)及VOC(氯仿、有机胺类)的配气

10）智能化气体液体数据库，支持用户根据需要自定义气体及液体参数

主要技术参数

1）支持五种配气功能：气体配气、液体配气、湿度控制、气体+湿度、液体+湿度

2）气路通道包括1路背景气体、2路目标气体和1路目标液体；2路湿气气路（干气和湿气）

背景气路：满量程1 slm，控制范围2%~100%（20 sccm~1000 sccm）；

目标气路1：满量程100 sccm，控制范围2%~100%（2~100 sccm）；

目标气路2：满量程2或5 sccm，控制范围2%~100%（0.04~2sccm或0.1~5 sccm）；

*目标气路3：液体气路，1.26 pL/min，液体蒸发控温范围：室温~250 °C

*湿气气路1：满量程1 slm，控制范围2%~100%（20 sccm~1000 sccm）；

*湿气气路2：满量程1 slm，控制范围2%~100%（20 sccm~1000 sccm）。

*3）全自动配气，可程序式设定配气流程，支持两种控制模式。

浓度模式：程序设定配气流程，如设定好气源、液源、湿度信息，配气的流速、浓度、时间、循环等信息，系统即可自动进行配气

流量模式：单独设定各气路的流量、目标湿度进行配气

*4）湿度控制：范围2%RH~90%RH，精度优于±1%RH，稳定度±1%RH（RT标定）

*5）稀释比例：气体最大比例10000:1（氮气），液体最大可稀释至10 ppb（乙醇）

6）全金属密封，耐各类强腐蚀性气体（如硫化氢）以及各类易挥发性液体（如甲醛溶液）

*7）配置传感器测量模块：配置传感器测试模块，测试通道数：8路，完全独立；加热电流：DC 0~400 mA连续可调，8路单独控制，精度1 mA；测量范围：1Ω ~100 MΩ，全自动测量无需换挡；测量精度：±1 Ω，±读数的2%