名称：显微激光共焦拉曼光谱仪

型号：invia

品牌：英国雷尼绍

安装时间： 2019-9

安装位置：综合楼1005室

设备简介

   inVia是Renishaw公司推出的一款拥有强大功能的全自动化拉曼光谱仪，在同级别仪器中拥有最高的指标和性能参数。其独特的激光分立光路与信号光路透镜式聚焦设计，使其拥有商业化拉曼光谱中最高的灵敏度（保证1-2cm-1分辨率时的硅三阶峰信噪比高于30:1）。新型的数字化针孔真共焦显微技术，在保证共焦效果（空间分辨率在XY平面<0.4微米，在Z轴方向<1.5微米）时又得以避免仪器的不稳定性和复杂的光路调整。光栅尺反馈技术既可驱动光栅连续转动采集谱图，无需接谱（专利），还克服了机械应力及磨损，保证了同类仪器中最高的稳定性和重复性（光栅连续转动时的重复性达到0.05cm-1）；整个光路所有光学元件的全自动化控制（自动切换与自动准直全光路系统）既客服了不同激发波长带来的色差问题，又使后期的维护更加简单方便——计算机远程控制调校光路的自动化程度只有inVia能达到。inVia拉曼光谱的模块化非常丰富，可配置深紫外（244nm）到中红外（1064nm）的激发波长，低波数滤光片，红外发光检测器等附件。有超快速2D/3D成像等功能，还能与扫描电镜（SEM）、原子力显微镜（AFM）、激光共焦扫描显微镜（LCSM）等等材料分析仪器联用，而且这些升级都是可以在现场完成的，无需对拉曼光谱仪主机做任何改造！Renishaw拉曼光谱能同时满足液体、固体、粉末、粘稠液体等样品状态的分析，软件操作直观、简单，并同时能兼容国际通用的化学计量学软件。

主要技术参数

1.主机

1.1激光器

1.1.1.325nm激发波长，激光器功率不低于30mW

1.1.2.532nm激发波长，激光器功率不低于50mW。

1.1.3.632.8nm激发波长，激光器功率不低于17mW。

1.1.4.785nm激发波长，激光器功率不低于100mW。

1.2光谱仪

1.2.1光谱仪设计：无像散，单级光谱仪，焦距在240mm以上。

1.2.2系统总通光效率大于40%。

1.2.3高灵敏度：硅三阶峰（约在1440cm-1）的信噪比好于30:1，并能观察到四阶峰。检测条件：使用单晶硅片，波长532nm，激光到达样品功率10mW，狭缝宽度（或针孔）<=50微米，需使用1800线或更高刻线的高分辨光栅，曝光时间100秒，累加次数3次（或曝光时间60秒，累加次数5次），binning等于1，显微镜头为x50或x100倍。

1.2.4光谱范围：200nm到1100nm，全光谱范围内可快速连续扫描，无接谱。其中：

325nm激发波长，光谱范围：330-1100nm；

532nm激发波长，光谱范围：100-9000cm-1；

632.8nm激发波长，光谱范围：100-6000cm-1；

785nm激发波长，光谱范围：100-3500cm-1。

1.2.5光谱分辨率：好于1cm-1。检验标准：使用氖灯作为信号源，大于等于1800线高分辨光栅，测试17086ABScm-1发光线，其半高全宽小于1波数（FWHM<1cm-1）。

1.2.6光栅使用1200（NIR）、1800（Vis）、2400（UV）刻线/毫米高分辨率光栅，并能软件控制自动转换。并能实现光栅连续转动的全谱扫描方式，保证高分辨率下的无接谱。

1.2.7光谱重复性：<±0.05cm-1。采用光栅尺反馈控制系统控制光栅的精确定位和重复性。检验标准：使用表面抛光的单晶硅做样品，采用50×物镜，1800刻线/毫米光栅，扫描范围100～4000cm-1，重复50次。观测硅拉曼峰（520cm-1），520峰中心位置重复性<±0.05cm-1。光栅不转动时（静态取谱），520峰中心位置重复性<±0.02cm-1。

1.3共焦技术

1.3.1采用新型数字化针孔真共焦显微技术（数字化控制狭缝和CCD区域），以避免仪器的不稳定性和复杂的光路调整。

1.3.2软件控制自动调整狭缝大小，在10-2000um范围内连续可调。

1.3.3*在x100倍镜头下，空间分辨率<=0.4微米，共聚焦深度剖析分辨率<=1.5微米，共焦深度连续可调。检测条件：

空间分辨率：使用表面抛光的单晶硅锐利边缘做样品，在共焦条件下，采用100×物镜，沿垂直于锐利边缘的方向由单晶硅表面扫描至单晶硅外，步长为0.1um，将扫描所得到所有硅拉曼峰进行拟合，得到硅峰信号强度的变化曲线。Si强度变化的带边宽度即空间分辨率应<0.4微米

共聚焦深度剖析分辨率：使用表面抛光的单晶硅做样品，在共焦条件下，采用100×物镜，沿垂直于单晶硅平面方向，由单晶硅表面上方扫描至单晶硅内部，步长为0.1um，将扫描所得到所有硅拉曼峰进行拟合，得到硅峰信号强度的变化曲线，硅520cm-1峰的强度形成的曲线的半高宽即共聚焦深度剖析分辨率<1.5微米

1.4共焦显微镜

1.4.1*高稳定性研究级进口徕卡原装显微镜；

1.4.210X原装目镜，5X、20X、100X、50X长焦物镜；

1.4.3显微镜厂家原装透射和反射柯勒照明；

1.4.4彩色摄像头，可在计算机上显示存储图像。

1.5计算机与打印机

1.6全套软件包。包含快速数据采集、处理等功能模块。内置扫描控制及数据处理软件，可方便快速地处理数据，并基于以下指标实时进行数据分析和成像：

某一个拉曼信号的强度

拉曼信号特定范围强度的综合信息

成分含量分布信息高分辨图象

2.附件

2.1配置带光栅尺反馈控制系统的xyz三维自动平台

2.1.1*XYZ自动平台，扫描范围：X>100毫米，Y>70毫米。

2.1.2最小步长为0.1微米。

2.1.3带手动操作杆，可软件自动控制驱动。

2.1.4可对样品测量部位自动定位并进行拉曼成像，进行分散的多点、线、面扫描和共焦深度的扫描成像，

2.1.5*采用光栅尺反馈控制系统自动控制克服反向间隙，保证原始点的重复性。

2.1.6用软件可连接摄像头采集图像，扩展了显微镜的视场，也可使自动平台的扫描区域扩大。

2.1.7包括Z轴自动聚焦硬件及软件。

2.2大面积（大体积）快速扫描成像附件

2.2.1不同波长自动控制切换的点聚焦组件，和自动聚焦的信号收集透镜组。适用于325nm、532nm、632.8nm、785nm激发波长。

2.2.2多变量化学统计数据分析软件包。

2.2.3*超快速拉曼成像，可达1000张谱图/秒。

2.2.4*能实现样品的三维实体（不同深度）拉曼扫描成像（3Dmapping）。