名称：高分辨场发射扫描电子显微镜
型号：SU5000
品牌：日本日立（HITACHI）
安装时间： 2016-9
设备负责人：王丽伟
设备简介
场发射电子显微镜具有超高分辨率，能做各种固态样品表面形貌的二次电子象、反射电子象观察及图像处理能力，能同时进行样品表层的微区点线面元素的定性、半定量及定量分析，具有形貌、化学组分综合分析能力，可以观察和检测非均相有机材料、无机材料及在微米、纳米级样品的表面特征，是纳米材料研究不可或缺的重要工具。该设备广泛用于生物学、医学、金属材料、高分子材料、化工原料、地质矿物、商品检验、产品生产质量控制、宝石鉴定、考古和文物鉴定及公安刑侦物证分析。
主要技术参数
1. 探测器：硅漂移晶体，超薄窗口，完全独立真空；有效采集面积不小于10mm2；适合低电压或小束流分析，可以分析纳米尺度的元素成份，有效延长灯丝寿命
2. 元素分析范围Be4—Cf98
3. 免维护性：无需加液氮，帕尔帖制冷，随时可以断电，探头不结霜
4. 分辨率MnKa优于129eV；在不同计数率下谱峰稳定，分辨率衰减小于1eV。
输出最大计数率：大于500,000CPS谱峰无畸变，可处理最大计数率优于750,000CP S
5. 谱定量分析: 采用最先进的修正技术,可对抛光表面或粗糙表面进行点、线和面的分析；具有虚拟标样法（间接标样法）以及有标样法（直接标样法）；可以方便的得到归一化和非归一化
6. 图像输出：可在能谱平台上采集电子图像，支持BMP,TIFF, JPEG等流行的图像格式，对视场上任选区域进行能谱分析和线、面扫描，可得到元素的线分布、常规面分布、快速面分布和定量面分布等。并且电子数字图像最大清晰度优于8192*8192，全息X射线成分图最大清晰度（live Spectrum Mapping）优于4096*4096。
